Сибирский импортозамещающий лазер
Российская компания «Оптические технологии» из Новосибирска разработали отечественную лазерную систему для печати фотошаблонов при помощи ультрафиолетового излучения. Как пишет ТАСС со ссылкой на представителей компании, у этого лазера в настоящее время нет ни единого аналога в России. Использоваться этот лазер будет при изготовлении микросхем, уточняет агентство.
Однако же за пределами России заменители нового детища компании «Оптические технологии» существуют. Новый российский лазер 257-нанометровый, и точно такой же имеется в распоряжении американской компании Coherent. Впрочем, в последние годы компания сталкивается с различными трудностями – как сообщал CNews, летом 2024 г. корпорация Apple разорвала с ней все контракты по выпуску компонентов для iPhone, вследствие чего Coherent вознамерилась закрыть один из своих европейских заводов по выпуску электронной компонентной базы. Он расположен в Великобритании.
Для чего нужен лазер
Новый российский лазер, как и его иностранные аналоги, используются для одних и тех же целей – для печати фотошаблонов. В свою очередь эти фотошаблоны в дальнейшем применяются для нанесения рисунка на кремниевые пластины, отмечает издание.
С физической точки зрения фотошаблон – это специальная тонкая пленка, на которой нанесена схема поверхности кремниевой пластины – она в дальнейшем используется для лазерной литографии.
Лазерная литография – это самый распространенный метод нанесения изображения на кремниевую пластину. В ней применяется специальный лазер, и в России такие технологии тоже есть. В сентябре 2024 г. CNews писал, что после 2026 г. в России начнется сравнительно крупное производство лазеров для литографии, которые будут использоваться для выпуска микросхем. Планируется сборка как минимум пяти таких лазеров в год.
Наш ответ Западу
Представитель компании – разработчика подтвердил ТАСС, что импортозамещать российский лазер будет в первую очередь продукцию Coherent. «Мы импортезамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры», – заявил он.
Новый лазер – это особый программно-аппаратный комплекс. В плане аппаратного оснащения это симбиоз из непосредственно лазера мощностью 10-30 мВт (милливатт) и волоконного усилителя.
Предназначение последнего становится понятно уже из его названия. В творении «Оптических технологий» он используется для многократного увеличения мощности энергии лазера – с базовых 10-30 мВт до 15 Вт.
В дополнение к перечисленному в составе лазера есть специальный кристалл. Он служит для преобразования частоты лазерного света. «Получается дополнительная генерация» – сказали ТАСС в «Оптических технологиях».
Итоговая конструкция отличается очень незначительным расходом энергии, за счет чего снижаются затраты на электричество и повышается общая эффективность производства, сообщили ТАСС разработчики лазера. По их словам, система потребляет 1 ватт энергии, но не уточнили, в какой промежуток времени. Они отметили лишь, что энергопотребление лазера «меньше чайника в два раза».
Сроки неизвестны
К моменту публикации материала разработчики не раскрывали сроки начала серийного производства нового лазера. Известно лишь, что к концу мая 2025 г. на руках у них был лишь один предсерийный прототип, который они используют для испытаний.
К слову, сами тесты проходят вовсе не в России. Полигоном для них стало предприятие электронной промышленности «Планар», расположенное в Белоруссии.



