В США продемонстрирована в работе первая в мире инфракрасная камера, построенная на основе технологии микроэлектромеханических систем (MEMS, Micro Electro Mechanical Systems). Ожидается, что первые серийные образцы появятся уже в первом квартале следующего года. Они могут применяться в системах пожарной сигнализации, а также в военной аппаратуре и в системах безопасности. При разрешении 320 х 240 пикселей инфракрасная камера не требует охлаждения и при этом позволит на порядок превзойти по чувствительности другие неохлаждаемые инфракрасные детекторы.
Чувствительная матрица камеры состоит из 76800 чувствительных к тепловому излучению микроскопических элементов, имеющих форму кронштейна и расположенных на кремниевой пластине. Каждый из элементов индивидуально реагирует на ИК-излучение и представляет, таким образом, отдельный пиксель. Один конец элемента жестко закреплен на основании, другой может свободно изгибаться. Кронштейны представляют собой крошечные биметаллические пластины, в которых верхний тонкий слой эффективно поглощает инфракрасное излучение, а нижний металлический слой расширяется при нагревании. Под действием теплового излучения элемент изгибается, генерируя электрический сигнал, пропорциональный величине поглощенного инфракрасного излучения. Чувствительность представленного модуля составляет 3 милликельвина, динамический диапазон превышает 100000.
Разработали устройство американская компания Sarcon Microsystems и ее дочерняя компания Sarnoff. Представители компании утверждают, что производство новых детекторов может осуществляться на стандартных технологических линиях для производства КМОП-микросхем и с использованием стандартных технологических процессов. По мнению авторов разработки, возможности новой технологии еще далеко не исчерпаны, и рано или поздно она вытеснит другие типы неохлаждаемых ИК-детекторов, которые используются сегодня.
Поделиться
