Независимость от Запада
Китай приступил к массовому выпуску собственных установок для иммерсионной литографии, пишет Tom’s Hardware. Более того, между стартом производства и поставкой первых готовых изделий ключевым клиентам пройдет всего несколько недель.
До конца 2026 г. импортонезависимыми литографами будут обеспечены компании SMIC, Hua Hong и CXMT. Это крупнейшие в Китае контрактные производители микросхем.
Сейчас все они пользуются литографами разработки нидерландской компании ASML. Это лидер мирового рынка литографов с многолетним опытом в этой сфере, но она годами подвержена влиянию властей США, что негативно влияет как на ее собственный бизнес в КНР, так и на бизнес китайских вендоров полупроводников.
Чуда пока не случилось
Самые передовые литографы ASML работают с экстремальным ультрафиолетом (EUV) и участвуют в производстве чипов с топологией 5 нм и тоньше. Также у нее есть литографы для глубокого ультрафиолета (DUV), это предпоследнее поколение такого рода устройств для более старых техпроцессов.
Китайские производители создали аналог пока что именно DUV-литографа ASML. Заменить EUV-решения им к моменту выхода материала было нечем.
До конца 2026 г. Китай выпустит около пяти фирменных литографов. В 2027 г. объемы производства увеличатся в разы – планируется сборка примерно 20 устройств.
Почему именно сейчас
Китайская полупроводниковая отрасль находится под санкциями США с весны 2019 г. Она начала с компании Huawei, запретив ей, в числе прочего, выпускать свои процессоры на фабриках тайваньской компании TSMC (мировой лидер, самые передовые решения), и вынудив ее продать свою «дочку» Honor.
Позже ограничения распространились на весь полупроводниковый сегмент китайской экономики. Например, США мешают ASML обслуживать и ремонтировать литографы, которые она продала Китаю.
В обозримом будущем давление может в значительной степени усилиться. Как пишет Tom’s Hardware, в настоящее время в Конгрессе США рассматривается законопроект MATCH Act, согласно которому SMIC, Hua Hong и CXMT будет полностью запрещено сотрудничать с ASML не только в плане поставок нового оборудования, но и в плане обслуживания старого.
Таинственный производитель
Название поставщика китайских литографов к моменту выхода материала не раскрывалось. Как пишет издание The Information со ссылкой на свои источники, к их разработке были привлечены команды инженеров из нескольких китайских компаний, одной из которых является поддерживаемый государством стартап Shanghai Yuliangsheng Technology.
На это указывает и тот факт, что SMIC тестирует литограф Yuliangsheng с сентября 2025 г. Большинство компонентов в этих устройствах разработаны и произведены в Китае, однако полной импортонезависимости добиться пока не удалось.
В частности, некоторые критически важные детали литографов поставляются из Японии. Именно сложности с поставками этих компонентов в настоящее ограничивают темпы серийного производства китайских литографов.
Что будет дальше
По всей видимости, Китай не намерен ограничивать себя только лишь DUV-литографами, ведь с их помощью невозможно выпускать микросхемы по действительно современным техпроцессам. Страна уже давно смотрит в сторону собственных EUV-литографов и весьма активно идет в этом направлении.
В декабре 2025 г. CNews писал, что китайские инженеры собрали прототип литографа для работы в экстремальном ультрафиолете. Вот только своих знаний для этого им не хватило – на помощь пришли бывшие сотрудники ASML.
Поделиться
