Российское производство полупроводников оживает
В России будет организовано производство отечественных эксимерных лазеров для литографии, то есть для производства микросхем, сообщил CNews замминистра промышленности и торговли России Василий Шпак. По его словам, до начала их выпуска остается сравнительно немного времени – «после 2026 г.» с конвейера будут сходить не менее пяти таких лазеров в год. За разработку лазера отвечала ГК «Лассард».
Важно отметить, что Шпак не стал раскрывать более конкретные сроки начала производства или хотя бы диапазон лет, в течение которых стоит ожидать его. В то же время он сообщил, что уже в 2025 г. начнутся тестовые испытания лазера.
Проводить тестирование будут сотрудники «Зеленоградского нанотехнологического центра» (ЗНТЦ), а сам лазер будет использоваться в составе литографа, первоначально рассчитанного на топологию 350 нм. Новый лазер «прокачает» его до 130 нм. Для сравнения, самый современный техпроцесс, по которому в 2024 г. производятся различные микросхемы, в том числе и центральные процессоры – это 3 нм. Эти нормы используются на фабриках TSMC для производства чипов Apple.
По словам Шпака, потенциальные заказчики на литографы с лазером разработки «Лассарда» уже имеются. Весь перечень заинтересованных в их приобретении компаний замминистра Минпромторга не раскрыл, отметив лишь, что среди них есть «Микрон» – крупный российский производитель полупроводников, называющий себя «чипмейкером №1 в России».
Для чего это нужно
К 26 сентября 2024 г. у ГК «Лассанд» были готовы опытные образцы эксимерного лазера. По словам Василия Шпака, наличие в стране такого рода устройства, «позволяет говорить о том», Россия в настоящее время «все ближе к производству литографов на 130 нм». Замминистр Минпромторга добавил также, непосредственно сам литограф «появится в 2026 г.».
Шпак также подчеркнул, что лазер позволит в будущем освоить и 90-нанометровое производство. «Лазер дает возможность модифицировать характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем работу на перспективу, разрабатывая материалы и заказывая работы для установок 90нм и 65 нм», – добавил он.
Первый российский литограф
Как пишет ТАСС, Василий Шпак называет литограф, в составе которого будет тестироваться лазер «Лассарда», «первым российским фотолитографом». В своем оригинальном исполнении он предназначен для выпуска чипов по топологии 350 нм. Это не самый современный техпроцесс – пик его актуальности пришелся на 1995-1996 гг.
«Чипы размером 350 нанометров хоть и считаются большеразмерными чипами, но до сих пор используются во многих отраслях, в том числе в автопроме, энергетике и телекоммуникациях», – пишет ТАСС.
На сайте Zelenograd.ru указано, что российский 350-нанометровый литограф весит 3,5 тонны и имеет габариты 200х260х250 см (размеры оптико-механического устройства и объектива лазера с рабочей длиной волны 365 нм в сумме). Лазер «Лассарда» позволит переделать литограф из 350-нанометрового в 130-нанометровый.
Кто за этим стоит
По словам Василия Шпака, «Лассард» будет работать в связке с ЗНТЦ, где первый является непосредственным разработчиком лазера, а второй – «поставщиком технологии». Именно ЗНТЦ «будет осуществлять реализацию литографической установки», добавил Шпак.
«Лассард» – это компания ООО «Лассард», основанная в апреле 2015 г. и имеющая уставный капитал около 3,05 млн руб. Основной вид деятельности – «научные исследования и разработки в области естественных и технических наук прочие» – (код ОКВЭД 72.19), дополнительных видов деятельности – 19. Среди них: «аренда и лизинг двигателей, турбин и станков» (77.39.21), «обработка металлов и нанесение покрытий на металлы» (25.61) и «обработка металлических изделий механическая» (25.62).
К моменту выпуска материала информация об учредителях компании была засекречена. Известно лишь, что в июле 2022 г. ее 72,5-процентная доля принадлежала АО «Инвестиционная Компания Вартон», гендиректором которой является Илья Сивцев, также занимающий аналогичную должность в ПАО «Группа Астра». С декабря 2015 по июль 2022 гг. Сивцев лично входил в состав учредителей «Лассарда» – он удерживал долю 7,5%, у Дениса Фролова было 65%, у Игоря Корнеенкова – 27,5%. Все трое вышли из числа совладельцев 8 июля 2022 г.
Также стоит отметить, что компания в последние годы не публикует финансовую отчетность. Последняя имеющаяся в открытом доступе информация датирована 2021 г. – по итогам этого года выручка «Лассарда» составила 1 млрд руб., просев на 34% год к году. Чистая прибыль достигла 127,4 млн руб. (данные «Контур.Фокуса»). Имя генерального директора тоже скрыто.
ЗНТЦ – это АО «Зеленоградский Нанотехнологический Центр», образованное в июле 2010 г. Держатель реестра акционеров – АО «Независимая Регистраторская Компания Р.О.С.Т.», генеральный директор – Анатолий Ковалев.
Основной вид деятельности – «научные исследования и разработки в области естественных и технических наук прочие» (72.19), дополнительных видов – 20: «деятельность рекламная» (73.1), «деятельность в области фотографии» (74.20), «деятельность по письменному и устному переводу» (74.30), «деятельность по упаковыванию товаров» 82.92 и пр.
Как и в случае с «Лассардом», актуальная информация о финансах ЗНТЦ скрыта. В 2021 г. компания показала 171-процентный рост выручки год к году до 933,3 млн руб. и получила чистую прибыль на уровне 142,8 млн.
В тройке лидеров
К моменту публикации материала производство лазеров для литографов в России не существовало в принципе. Василий Шпак подчеркнул, что к концу 2024 г. их выпуском занимались всего лишь две компании в мире – японская GigaPhoton и американская Cymer.
Другими словами, у России есть шансы стать третьей страной в мире, где налажено подобное производство. Вопрос теперь лишь в том, когда именно «после 2026 г.» заработает линия по их сборке.
Поделиться
