Carl Zeiss: оборудование для нанотехнологий приходит в Россию

В Москве в рамках Пятой специализированной выставки A-TESTex («Аналитика») прошла беспрецедентная по своим масштабам демонстрация всего спектра профессионального оборудования для работы в микро- и наномасштабах, выпускаемого компанией Carl Zeiss. Такая демонстрация оборудования в одном месте и в одно время не проводилась прежде ни одной компанией не только в России, но и в мире.

«Это первый прецедент не только в России, но и в мире, когда производитель представляет на одной площадке весь спектр своих электронных микроскопов, - сообщил в беседе с корреспондентом портала Исследования и разработки – R&D.CNews управляющий компанией Carl Zeiss в России и в странах СНГ доктор Максим Игельник. – Мы хотим познакомить российских специалистов с новыми технологиями в электронной микроскопии и их возможностями – в частности, с возможностями гелий-ионной технологии».

На выставке были представлены автоэмиссионные растровые электронные микроскопы SUPRA 25, SUPRA 40 и SUPRA 55, аналитические автоэмиссионные электронные растровые микроскопы ULTRA 55 и ULTRA 60, ориентированные на исследования наноструктур, а также многоцелевые растровые электронные микроскопы исследовательского класса серии EVO 40, EVO 50 и EVO 60. Посетители могли ознакомиться с работой и возможностями просвечивающего электронного микроскопа со встроенным омега-фильтром LIBRA 120, а также с современными оптическими микроскопами высокого разрешения.

Особое место на экспозиции занимал аналитический автоэмиссионный электронно-ионный (двухлучевой) растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур CrossBeam серии 1540. Многофункциональное устройство обеспечивает разрешение до 1,1 нм в электронном и до 5 нм – в ионном режимах, а также визуализацию растровых изображений с разрешением не хуже 3072х2304 пикселей.

Большое количество встроенных детекторов, в том числе детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли и детекторы обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии и по углу выхода, обеспечивают высокую многофункциональность прибора. Конструктивно CrossBeam 1540 представляет собой комбинацию автоэмиссионной электронно-оптической колонки Gemini и автоэмиссионной электронно-ионной колонны, имеющих общий фокус. При этом обеспечивается возможность получения рельефных изображений поверхности с одновременным отображением композиционного контраста.

Современные и дорогостоящие системы CrossBeam Carl Zeiss уже эксплуатируются в России. Как сообщил д-р Игельник, одна такая установка в настоящее время инсталлируется в СПбГУ, они работают в Дальневосточном госуниверситете, в новосибирском институте физики полупроводников и в институте Металлургии и Материаловедения имени Байкова. Спрос на устройства, без которых в принципе невозможно развитие "прорывных" технологий, особенно полупроводниковых, по мнению экспертов компании, будет расти.

Более подробная информация о новых образцах оборудования для нанотехнологий компании Carl Zeiss, их технических возможностях и перспективах применения будет представлена на портале Исследования и разработки – R&D.CNews.