Разработана технология изготовления трехмерных магнитных наноструктур

Ученые из Национального института стандартов и технологий (NIST) разработали технологию изготовления сложных трехмерных наноструктур из магнитных материалов, таких как никель и железоникелевый сплав.

Новая технология основана на методе «дамасской металлизации» (Damascene metallization), который часто применяется для изготовления сложной трехмерной разводки в БИС. В ходе этого процесса на поверхности подложки вытравливается сложная структура, состоящая из горизонтальных бороздок и вертикальных перемычек, которая затем заполняется медью.

Ученым из NIST удалось оптимизировать этот процесс для получения ферромагнитных наноструктур из никеля и железоникелевого сплава. Новая технология может использоваться для изготовления сложных микроэлектромеханических устройств, в которых для соединения магнитных материалов с немагнитными компонентами могут использоваться широко распространенные в электротехнике методы, сообщает EurekAlert.