Разрабатывается ПО для проектирования производства MEMS

Европейский союз и ряд европейских компаний и организаций реализуют проект Promenade. В ходе проекта разрабатывается программное обеспечение для автоматизированного проектирования технологических процессов производства микроэлектромеханических систем.

Promenade - аббревиатура от Process Management and Design Environment for Microsystem Technologies. Среди партнеров Promenade - промышленные предприятия, научно-исследовательские институты, университеты и поставщики программного обеспечения из Бельгии, Великобритании, Нидерландов, Германии и Австрии.

Производство микроэлектромеханических систем (мicroelectromechanical systems, MEMS) является сложным процессом, иногда включающим сотни стадий. На каждой такой стадии должны контролироваться десятки и более параметров, в том числе температура, давление и химический состав используемых материалов и компонентов.

Одной из целей Promenade является разработка программного обеспечения для контроля над всеми стадиями технологического производства MEMS. В состав создаваемого ПО войдут три модуля: модуль, предназначенный для редактирования последовательности стадий производства и контролируемых параметров с помощью графического интерфейса; модуль симуляции последовательных стадий производства на основе программного пакета Silvaco; и модуль документирования производства, включая каждый его шаг и параметр.