Нанолес даст микромашинам новые детали

Ученые из Университета Бригама Янга (США) вырастили "лес" из длинных углеродных нанотрубок. Данная технология открывает новые перспективы в производстве микроэлектромеханических систем (MEMS).

MEMS - это крошечные устройства с деталями, измеряемыми миллионными долями метра. Обычно MEMS изготавливают из кремния с помощью распространенных технологий микроэлектронной промышленности. К сожалению, такой подход исключает возможность использования широкого спектра материалов: разнообразных полупроводников, керамики и металлов.

Используя новый процесс, названный шаблонная микротехнология углеродных нанотрубок (CNT-M), американским ученым впервые удалось создать прочные микроструктуры, похожие на высокий лес.

До сих пор подобные структуры, необходимые для множества микроэлектромеханических систем, создать не получалось, поскольку подобный лес получается слишком хрупким. Команде ученых из Университета Бригама Янга удалось решить эту проблему, заполнив воздушные зазоры между нанотрубками наполнителем атомистического осаждения.

Исследователи уже использовали технологию CNT-M для изготовления микроскопических деталей из вольфрама, молибдена и никеля. Эти металлы имеют очень нужные для MEMS свойства, в частности высокие электро- и теплопроводность, высокую температуру плавления, устойчивость к коррозии, низкий коэффициент теплового расширения и высокую твердость.

CNT-M открывает новые возможности для манипулирования наноматериалами, что позволит повысить эффективность, производительность и снизить стоимость MEMS во многих высокотехнологичных областях, включая медицину, оптику, вычислительную технику, химический синтез и т.д.