Микросхемы будут "распылять"

Японские исследователи открыли новый способ изготовления микроэлектронных кремниевых устройств. Новый метод позволяет преодолеть недостатки традиционной техники литографии, для которой необходимо наличие чистых комнат и дорогостоящего вакуумного оборудования. По мнению ученых, таким способом можно будет создавать гибкие дисплеи больших размеров, сообщает PhysicsWeb.

Кремниевые электронные устройства в настоящее время изготавливаются по следующей технологии: в вакууме нагревается чистый кремний, после чего образующийся «туман» из свободных атомов кремния оседает на пластиковой поверхности. Затем затвердевшая пленка протравливается и при помощи техники фотолитографии на ней формируют элементы микросхемы. Однако этот метод дорог и сложен, поскольку для его осуществления требуется сверхчистая среда — иначе кремний потеряет свои электронные свойства.

В новой технологии, разработанной японскими учеными под руководством доктора Масахиро Фурузавы (Masahiro Furusawa) из Seiko Epson Corporation, используется жидкая форма кремния, полученная при комнатной температуре и нормальном давлении. Жидкий кремний распыляют на поверхности при помощи струйного принтера.

Молекула жидкого кремния содержит пять атомов кремния, сцепленных в кольцо. При облучении жидкого кремния ультрафиолетовым светом некоторые кольца разрываются, образуя линейные цепи, которые соединяются и образуют еще более длинные цепи. В результате формируется вязкая жидкость.

oС и превращается в твердый поликристаллический кремний. Разработчики считают, что из таких пленок можно изготавливать транзисторы.

Согласно результатам тестирования, электронные свойства пленок не уступают свойствам сверхчистых пленок, полученных по обычной технологии. Однако технология еще далека от совершенства. Кроме того, современный струйный метод не обеспечивает разрешения, необходимого для создания шаблонов в высокоплотных интегральных схемах, применяемых в компьютерах. Тем не менее, новая технология, по мнению авторов, может привести к разработке недорогих и несложных методов создания обширного диапазона электронных устройств, цепей для широкоформатных дисплеев, солнечных фотоэлементов и датчиков.