Кремниевые нанопровода позволят уменьшить размеры микрочипов

Специалисты из института Макса Планка разработали технологию получения монокристаллических кремниевых нанопроводов, с помощью которых можно добиться дальнейшего уменьшения размеров микрочипов.

Ученым впервые удалось вырастить кремниевые нанопровода на частицах алюминия. Такие нанопровода могут применяться для изготовления чипов, в отличие от нанопроводов, созданных на золотых частицах, посокльку присутствие золота значительно ухудшает качество микроэлектронных приборов.

Алюминий, напротив, не оказывает вредного воздействия на свойства чипов и часто используется при изготовлении полупроводниковых приборов. Кроме того, использование алюминия в качестве катализатора позволяет создавать нанопровода при относительно низких температурах - около 450^оС.

Чтобы раскрошить алюминий на мелкие частицы, необходимые для формирования таких тонких структур, ученые нагревали тонкую пленку на кремниевой подложке, в результате чего пленка разрывалась на мелкие кусочки. Затем они проводили известную процедуру – распыляли на поверхности газообразный силан (соединение кремния с водородом), где он превращался в кремний, взаимодействуя с частицами катализатора. Частицы кремния поглощались алюминием, и когда этот процесс достигал насыщения, происходила кристаллизация кремния. В результате образовывались монокристаллические кремниевые нанопровода диаметром примерно 40 нанометров.

По словам участника исследования д-ра Стефана Сенза (Stephan Senz), нанопровода представляют не только практический, но и фундаментальный интерес, т.к. в масштабах, сравнимых с размерами нанопроводов, уже могут проявляться квантовые эффекты.