IBM и Nion создали самый мощный электронный микроскоп

Исследователи из IBM и Nion создали электронный микроскоп с самым высоким разрешением в мире, о чем сообщил британский научный журнал Nature. Это достижение имеет особенно большое значение для полупроводниковой промышленности, поскольку уменьшение компьютерных чипов до атомарных размеров требует большего понимания свойств полупроводниковых материалов.

Последние 50 лет ученые пытались увеличить точность электронных микроскопов, нейтрализуя возникающий из-за оптических дефектов эффект размывания изображения. Исследователи IBM и Nion соединили 7 наборов магнитных линз с компьютером для коррекции отклонений в реальном режиме времени, что позволило достичь толщины электронного луча 3*10-7 дюйма. Это меньше размера атома водорода.

С помощью этого луча ученые смогут теперь исследовать дефекты в полупроводниковых материалах на атомарном уровне. Если диэлектрик будет иметь какие-то изъяны, исследователи смогут изучить пути их устранения, например, выбрать правильные условия для оптимального роста кремния и его оксидов. Кроме того, новый микроскоп, возможно, поможет ученым улучшить свойства кремния благодаря лучшему пониманию взаимодействия атомов этого материала в различных условиях.

Источник:
по материалам сайта The Sydney Morning Herald.