Создана технология генерации рентгеновского излучения с помощью лазеров
Для получения излучения рентгеновского диапазона система из четырех лазеров фокусируется на медной полоске толщиной 12 микрон. Лазеры используют вторую гармонику излучения с длиной волны 532 нМ, вдвое меньшую общепринятой 1064 нМ. Возникающей энергии излучения рентгеновского диапазона достаточно для экспозиции фоторезистивного материала, применяемого в фотолитографии для создания токонесущих проводников.
Разработки подобного оборудования ведутся для применения в производстве современных полупроводниковых приборов. Переход на технологические нормы 0,13 нМ и менее потребует от поставщиков оборудования для фотолитографии применения подобных технологий уже в ближайшие годы.